膜技术在电子工业纯水制造中的应用

且也只有应用了多种膜技术，才能生产出合格、稳定的高纯水，才能生产出大规模、超大规模、甚大规模集成电路（LSI、VLSI、ULSI），从而使计算机、雷达、通讯、自动控制等现代电子工业的发展和应用得以实现。值得一提的是：当原水的含盐量大于400mg/L时，纯水制造的除盐工序采用RO-离子交换工艺后，比早先单用离子交换可节约酸、碱90%左右，使离子交换柱的周期产水量提高10倍左右[7]，事实证明，可以降低纯水制造的运行费用和制水成本，可以减少工人的劳动强度，可以减少对环境的污染，并可使纯水水质得到提高并长期稳定。据统计，在我国电子工业引进的纯水制造系统中，有RO的约占系统总数的90%，有UF的约占20%，有MF的几乎为100%[8]，而ED在我国国产的纯水系统特别是早期投产的纯水系统，以及为数众多的对纯水水质要求不高的一般电子元器件（如电阻、电容、黑白显像管、电子管等）制造厂的纯水系统中占有相当的比例。

　　三、微电子工厂纯水站使用膜技术实况

　　现以某微电子工厂中的某一纯水站使用膜技术的实况，说明膜技术在电子工业纯水制造中的应用。其纯水制造系统工艺流程见图1。

　　1.前级UF

　　前级UF是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物，降低水的SDI值，确保RO的安全运行。前级UF有5组，每组45根组件，共225根组件，进水280m³/h，透过水250 m³/h，浓缩水排放，回收率约90%。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF-BZ-20-PM80，组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil（0.51mm），共有2940根纤维，膜面积132ft²，膜材料为PS（聚砜），截留分子量8万。UF前采用5μm保安过滤器。

　　2.一级RO

　　水中加入还原剂Na₂SO₃（加药量为水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蚀RO膜，加入防垢剂（NaPO₃）₆（加药量为5ppm）以防止CaCO₃、CaSO₄等在RO膜上结垢，再经5μm 保安过滤器后由高压泵打进一级RO。一级RO有4组，均为二段。其中三组为每组8根膜容器，呈（5+3）排列，第4组为11根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由FRP（玻璃钢）制成，每根内装6个RO元件，总共为210个RO元件，进水250m³/h，透过水188m³/h，浓缩水排放，回收率为75%，脱盐率＞90%（初始脱盐率＞99%），操作压力1.55Mpa。RO元件为美国HYDRANAUTICS(海德能)公司生产，型号CPA3。元件直径8in，长40in，卷式膜，膜面积400ft²，膜材料为芳香聚酰胺复合膜，元件脱盐率≥99.5%。

　　3.二级RO

　　一级RO水箱出水中一部分进入A系统，先加NaOH（CP级）调节pH为8.2-8.6，使水中CO₂生成HCO₃^-，被二级RO除去，以减轻混床离子交换的负担，采用二级RO可以使混床再生周期延长一倍，减少再生酸碱耗量，并可进一步去除TOC和胶体物质。二级RO前采用3μm保安过滤器，二级RO为一组三段，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器内装6只RO元件，共60只RO元件，进水70m³/h，出水62m³/h，浓水排至超滤水箱，回收率为90%，脱盐率＞70%(初始脱盐率＞80%)，RO元件的生产厂、型号与一级RO相同。

　　4.后级UF

　　后级UF是用于去除水中的微粒、微生物、胶体、有机物等的终端过滤设备。

　　A系统后级UF为3组，每组18支，共54支组件，进水92 m³/h，出水90 m³/h，浓水排至一级RO水箱，回收率约98%。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF-132-20-PM10，组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil(0.51mm)，共有2940根纤维，膜面积132ft²，膜材料为PS（聚砜），截留分子量1万。

　　B系统后级UF为8组，每组9支，共72支组件，进水168 m³/h，出水164 m³/h，回收率约98%，UF组件制造厂及型号与A系统后级UF相同。

　　C系统后级UF有3支组件，进水4 m³/h，出水3.9 m³/h，回收率约98%，UF元件为美国HYDRANAUTICS公司生产，型号4040-FTV-2120，组件直径3.94in，长40in，卷式膜，膜面积55ft²，膜材料为聚烯烃，截留分子量5万。

　　5.微滤

　　本系统的微滤可分为三类，第一类为前级UF、RO前的保安过滤器，用于去除水中的悬浊物微粒，降低水的SDI值，滤芯为PP（聚丙烯）膜摺迭式滤芯，孔径为5μm或3μm。第二类在离子交换后，用于滤除离子交换树脂碎片，滤芯为PP膜摺迭式滤芯，孔径为1μm。第三类在UV杀菌器后，用于滤除微生物尸体，滤芯为N-6（尼龙6）膜摺迭式滤芯，孔径为0.45μm或0.2μm。以上滤芯均为核工业部第八研究所生产。

　　除上述水站外，该厂还有另几套高纯水制造系统，RO除使用复合膜元件外，还有使用CA醋酸纤维素膜元件。

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